Askıda silikon nanoteller, fırınsız üretimden sonra çalıştı
Hakemli üretim çalışmasında, yüksek sıcaklıklı fırın adımları kullanılmadan askıda silikon nanoteller yapıldı ve elektriksel işlevleri gösterildi. Plazma aşındırması sırasında geçici krom kaplama, telin biçimini korudu. Ardından transistör ve hidrojen algılama deneyleri gerçekleştirildi. Daha düşük sıcaklıklı süreç laboratuvarda çalışan aygıtlar verdi; ticari sensör dayanımı ve bütün yonga plakası boyunca üretim verimi henüz doğrulanmadı.
Bilim··Öğle
Krom koruma serbest bırakılan teli korudu
Hakemli laboratuvar çalışmasında, iki ucundan tutturulmuş askıda silikon nanoteller yüksek sıcaklıklı fırın adımları olmadan üretildi. Geçici krom kaplama, nanoölçekteki silikon ön biçimini derin plazma aşındırmasında korudu. Aşındırma teli alttan serbest bıraktı; ardından koruyucu katmanlar kaldırıldı. En yüksek sıcaklık, litografideki 180 derecelik polimer pişirme adımıydı. Geleneksel yüksek sıcaklıkta oksitleme ve biriktirme kullanılmadı. Süreç, iki ayrı tabanda uygulandı: bütün silikon ve yalıtkan üstündeki silikon tabakası.[1]
Askıdaki aygıtlar elektriksel işlevini korudu
Tellerin genişliği 50 nanometreye, uzunluğun genişliğe oranı 100’e ve dizi aralığı 5 mikrometreye ulaştı. Her geometri, 3 çipten 20 telle incelendi. Tek teller ile paralel diziler doğrusal akım iletti. Yandaki denetim kapıları, transistör düzeninde yaklaşık 24 voltluk eşikte yaklaşık 40 kat akım değişimi sağladı.[1]
Paladyum kaplama hidrojene yanıt sağladı
Nominal 2 nanometrelik paladyum kaplama, hidrojen verildiğinde belirgin akım düşüşü ve hidrojen kaldırıldığında toparlanma sağladı. Hidrojene yanıt yaklaşık 20–30 saniye içinde geldi; toparlanma için 200–250 saniye gerekti; hesaplanan en yüksek elektrik gücü 6,7 nanowatt oldu. Gaz akışlı laboratuvar deneyleri ticari seçiciliği, uzun dönem dayanımı veya bütün yonga plakası boyunca üretim verimini belirlemedi.[1]
